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	光刻机光刻机 ( 型号 : URE-2000/17型光刻机 )

二、URE-2000/17型光刻机 URE-2000/17型光刻机 1.技术特征  采用多反射镜实现均匀照明；  采用球气浮找平，调平精度高；  高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；  曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）；  手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。  快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；  采用200W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；  设备外形美观精制，性能非常可靠； 1．技术参数  曝光面积：100mm  分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）  对准精度：±1mm  掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm  掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸  样片尺寸：直径f15mm-- f100mm 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)  照明均匀性： ±5%（100mm 范围）  掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度  汞灯功率：200W（直流）  曝光波长：365nm  曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )  曝光方式：定时（到计时方式） 2．外形尺寸：650mm（长）600mm(宽) 900mm（高） 3．配置（1）曝光头  200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)  XYZ汞灯调节台  光学系统  冷却风扇（2）对准工件台 •掩模样片整体运动台 •掩模样片相对运动台 •转动台 •样片调平机构,自动完成 •样片调焦机构，气缸自动调 •承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）掩模夹3个（3寸、4寸、5寸） •掩模抽拉式上下机构（3）对准显微镜 •光源、电源 •双目双视场对准显微镜主体 •目镜3对（10倍、16倍、25倍，共6个） •物镜3对（5倍、10倍、15倍，共6个） •CCD（台湾） •19寸液晶显示器（4）电控系统 •汞灯触发电源(500W直流汞灯) •单片机控制系统 •控制机箱（5）气动系统 •气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 •电磁阀驱动 •气动仪表（6）其他附件 •真空泵一台 •管道

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